Pokročilá zařízení Efektivní výrobaPodle zpráv domácí výrobce polovodičových zařízení Zhongsheng Optoelectronics Equipment (Shanghai) Co., Ltd. (dále jen „Zhongsheng Optoelectronics“) uvedl na trh novou technologii MOCVD a modely pro aplikace s hlubokým ultrafialovým LED, čímž dále snižuje náklady na zařízení a zvyšuje výrobní kapacitu. .
Podle údajů byla společnost Zhongsheng Optoelectronics založena v květnu 2011 a sídlí v Zhangjiang High-tech Park, Pudong, Šanghaj. Zaměřuje se na výzkum, vývoj a výrobu MOCVD zařízení pro výrobu LED a polovodičových součástek druhé/třetí generace. Je to jedna z mála nezávislých základních technologií v domácím vlastnictví. Jedna z největších společností vyrábějících MOCVD. Zhongsheng Optoelectronics a China Microelectronics navíc podle People's Daily Online kdysi prolomily dlouhodobý monopol německého Aixtronu a amerického Veeco na čínském trhu v oblasti LED osvětlení.
Od roku 2016 do roku 2017, Zhongsheng Optoelectronics a Jetson Semiconductor, přední domácí výrobce hlubokých ultrafialových LED, společně vyvinuli a industrializovali první hluboké ultrafialové MOCVD zařízení v Číně - ProMaxy® UV, které se stalo výzkumnou, vývojovou a výrobní kapacitou hluboké ultrafialové LED diody. technologie od roku 2020. Jeden z hlavních modelů expanze. Nedávno společnost Semiconductor Industry Network oznámila, že společnost Zhongsheng Optoelectronics učinila nové průlomy v zařízeních MOCVD s hlubokým ultrafialovým zářením.
Uvádí se, že s neustálým rozšiřováním a prosazováním aplikací s hlubokým ultrafialovým LED, trh předložil vyšší požadavky na účinnost přeměny energie, výtěžnost a výrobní náklady produktů s hlubokým ultrafialovým zářením LED. Z hlediska epitaxe má kvalita krystalů materiálu, charakteristiky povrchové morfologie a kontrola prasklin u epitaxního růstu AlN (aluminium dusíku) pro hluboké ultrafialové LED významný vliv na zlepšení účinnosti přeměny energie a výtěžnosti a jako technologie epitaxe se používá zařízení MOCVD. Základní vybavení je také potřeba upgradovat, aby splňovalo vyšší požadavky.
Za tímto účelem, na základě základní technologie ProMaxy® UV nezávislé inovace, společnost Zhongsheng Optoelectronics dále inovovala a optimalizovala řízení teplotního pole reakční komory, přenos a rovnoměrnou distribuci reakčního plynu a další technologie a vytvořila vysoce kvalitní AlN, který může být produkován epitaxí. Nová technologie jádra MOCVD, která může rozšířit výrobní kapacitu (alespoň 15x2) a snížit výrobní náklady.
Současně s cílem dále snížit náklady na vybavení a zvýšit výrobní kapacitu uvedla společnost Zhongsheng Optoelectronics také na trh model ProMaxy® UV, který lze nakonfigurovat se 4 reakčními komorami. Tento model může nejen epitaxně produkovat úplnou strukturu hlubokých ultrafialových LED v každé dutině, ale také může integrovat epitaxní produkci substrátů AlN a struktur LED v samostatných dutinách.
V současné době má Jayson Semiconductor 4 hluboké UV MOCVD zařízení od Zhongsheng Optoelectronics, které se používá pro hromadnou výrobu epitaxních produktů, aby vyhovovaly potřebám hlubokých UV LED aplikací, jako je lékařská sterilizace, bílé zboží a čištění vody. Jason Semiconductor uvedl, že pomocí nové technologie MOCVD společnosti Zhongsheng Optoelectronics a vícedutinových konfiguračních modelů lze získat vysoce kvalitní substráty AlN potřebné pro hromadnou výrobu a zároveň výrazně zvýšit výrobní kapacitu a snížit výrobní náklady na epitaxi.
Uvádí se, že kromě společnosti Jason Semiconductor mnoho domácích zákazníků přijalo novou technologii MOCVD společnosti Zhongsheng Optoelectronics a získalo vysoce kvalitní a levné substráty AlN. Specifické výhody jsou: vlastnosti povrchu Rq<0.5nm, edge="" cracks="" controlled="" at=""><2mm. zhongsheng="" optoelectronics="" said="" that="" in="" the="" future,="" it="" will="" launch="" new="" solutions="" through="" continuous="" innovation="" to="" meet="" the="" growing="" needs="" of="" deep="" ultraviolet="" led="" technology="" development="" and="" mass="">
Za zmínku také stojí, že Zhongsheng Optoelectronics v posledních letech postupně rozšiřovala své investice v oblasti polovodičových MOCVD zařízení třetí generace. V roce 2020 vstoupilo zařízení ProMaxy® PD společnosti Zhongsheng Optoelectronics pro třetí generaci polovodičových diskrétních zařízení GaN do fáze hodnocení a ověřování trhu. V srpnu téhož roku získala společnost Zhongsheng Optoelectronics kapitál ve výši 113 milionů juanů pod vedením Shanghai Pudong Science and Technology Group Co., Ltd. na výzkum, vývoj a výrobu špičkového vybavení pro polovodičové diskrétní zařízení druhé/třetí generace. .
Ať už se jedná o hlubokou ultrafialovou LED aplikaci nebo polovodičovou aplikaci třetí generace, Zhongsheng Optoelectronics si získala uznání a podporu na kapitálovém trhu a na straně aplikací. V budoucnu se očekává, že systém vybavení MOCVD založený na jeho vlastní základní technologii bude posílen prostřednictvím inovativního výzkumu a vývoje a možností financování. Zlepšení vybavení MOCVD posílí lokalizaci vybavení MOCVD.